Patentierte Lösungen

Justierbare Grundplatte 

Gewindeblock und Justierbolzen zum Justieren der Grundplatte

Messaufgaben mit hohen Anforderungen an ebene Abläufe mit geringen Gier- und Neigungsfehlern.

• erreichbarer Ebenheitsfehler:  0,3 µm über 100 mm
• erreichbarer Gierfehler: ± 15 µrad
• erreichbarer Neigungsfehler:  ± 15 µrad

Dual Speed Linearstelltisch 

Dual-Speed-Mode - Linearstelltisch mit hohem Geschwindigkeitsdynamik-Bereich für nanometergenaue Positionierungen

Die seit Jahren am Markt bewährte Präzisionsmesstisch-Reihe PMT160 wurde für Sonderanwendungen in der Laser- und Messtechnik modifiziert. Bei der Neuerung, die als "Dual-Speed-Mode" bezeichnet wird, handelt es sich um eine spezielle Anordnung von zwei Motoren an einer Spindelachse. Für hohe Geschwindigkeiten wird ein traditioneller DC-Motor verwendet und somit je nach Spindelsteigung 50 bis 120 mm/s erreicht. Auf Grund des geringen Geschwindigkeitsdynamik-Bereiches eines DC-Motors lassen sich Positionierungen im Nanometerbereich nicht mit der ausreichenden Qualität ausführen. Um sehr geringe Geschwindigkeiten und Verfahrschritte von nur wenigen Nanometern zu realisieren wird auf einen rotorischen Piezoantrieb umgeschaltet. Die Ansteuerung erfolgt über einen ebenfalls modifizierten Standard-Controller.