Vakuum-Anwendungen

Feinmess Dresden Vacuum-Systeme werden u. a. genutzt in:

  • Rasterelektronenmikroskopen (REM)
  • Elektronenstrahl Anwendungen
  • Partikelbeschleunigern
  • Ionen-Strahl Anwendungen


FMD konzipiert Vakuumpositioniersysteme  für verschiedenste Anwendungen in Industrie und Forschung. Eine große Anzahl der Standardachsen können für den Einsatz unter verschiedenen Vakuumniveaus auch als Mehrachsensysteme präpariert werden. Auf Kundenwunsch werden prozessoptimale Lösungen entwickelt und gefertigt. Entsprechend dem geforderten Vakuumniveau werden die verwendeten Materialien und Systemkomponenten für Antrieb und  Positionsmessung  ausgewählt. Interne Standards sichern die qualitätsgerechte Reinigungsabläufe, Lagerung und  Montage. Nach Absprache mit unseren Kunden werden alle Vakuumprodukte ausgebacken.

Kompaktes XY-System für Ultra-Hoch-Vakuum Anwendungen

Montage in zertifiziertem Reinraum

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