Lösungen für die Halbleiterindustrie

Technologiegerechtes Design für vielfältige Positionieranwendungen in der Halbleitertechnik ist für Steinmeyer-FMD selbstverständlich. Unsere Lösungen finden ihren Einsatz bei

• Waferinspektion
• Waferscannen
• Elektronenstrahlbearbeitung
• nachgestellten Prozessen

Alle mechanischen Komponenten (Antriebe, Führungssysteme, Einhausungen) genügen allen Ansprüchen, die sich aus einem Einsatz in Reinraumumgebungen ISO 1 und 2 ergeben. Dabei realisieren wir  Verfahrwege von 1000 mm und Lasten  über 30 kg bei höchster Dynamik, Gleichlauf und Positioniergenauigkeiten. Notwendige Lebensdauertests sichern den zuverlässigen Einsatz in sensiblen Bereichen. Für Anforderungen, welche sich aus einem extremen Umfeld ergeben (EUV, Stickstoffatmosphäre), sind technologische Lösungen vorhanden.